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光刻機的上游產(chǎn)業(yè)是什么,上游的上游又是什么?

作者:Anita 發(fā)布時間: 2022-04-11 11:51:57

簡介:】光刻機上游產(chǎn)業(yè)除了螺絲電線鐵皮電氣可湊十幾萬個零件常見的產(chǎn)業(yè)外,還有關鍵的1/磨高端nM級玻璃鏡頭的,2/制作nM級工件移動臺的,3/制作nM級極紫外光EUV激光器4/制作光過濾器,5/

光刻機上游產(chǎn)業(yè)除了螺絲電線鐵皮電氣可湊十幾萬個零件常見的產(chǎn)業(yè)外,還有關鍵的1/磨高端nM級玻璃鏡頭的,2/制作nM級工件移動臺的,3/制作nM級極紫外光EUV激光器4/制作光過濾器,5/高端溫控,電壓控制器,6/高真空抽氣設備,真空工作室,7/觀測用0. 1nM掃描電鏡,以及電顯示顯微鏡,8/真空電子槍。以上設備應該外國沒人賣,但是必須有,國外有,國內(nèi)應做得出來的。

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